设备特点介绍：
产品最大尺寸 950mm*750mm
X轴可移动范围 0-950mm, 移动分辨率1um,
重复精确度10um
Y轴可移动范围 0-750mm, 移动分辨率1um,
重复精确度10um θ±3°, 对位精确度 ±10um
XYZ轴移动速度0-300mm/S
产品对位采用闭回路方式
产品载具平整度100um, 铝质+绝缘材料
治具接触方式 FPCB, FPCB + Probe二种
测量项目：
零件高度检测，测试电容的开短路，线绝缘电阻值，线间电容值npF
检测应用：
| 灵敏度检测 | 开短路测试 |
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